ТАНГЕЙР Арун В. (US)

Мезо-электромеханическая система (900, 1100) включает в себя подложку (215), опорный элемент (405, 1160), расположенный на поверхности подложки, первую электростатическую конфигурацию (205, 1105, 1110, 1115, 1120), расположенную на поверхности подложки, и стеклянный элемент (810). Стеклянный элемент (810) имеет закрепленную область (820), прикрепленную к опорному элементу, и имеет вторую электрост...