Микушкин Валерий Михайлович (RU)

Изобретение относится к области получения углеродных наноструктур на поверхности твердого тела с помощью электронного зонда и может быть использовано в области электронной литографии в части получения масок, используемых для последующего формирования полупроводниковых структур химическим, плазменным или ионным травлением. Сущность изобретения: способ получения углеродных наноструктур включает нане...