Себежко Владимир Николаевич (RU)

Изобретение относится к области электронной техники, в частности к производству печатных схем. Техническим результатом является расширение возможности существующих технологий за счет использования воздушного объема под фоторезистом вместо фотошаблона с регулируемой геометрией при экспонировании фоторезиста благодаря содержанию в воздухе кислорода, являющегося ингибитором фотополимеризации. Таким в...

Изобретение относится к способам нанесения покрытий и может быть использовано при изготовлении печатных плат. Способ включает помещение подложки в реактор, нагревание подложки и транспортирование паров прекурсора в зону реактора. Процесс ведут до образования на подложке металлической пленки необходимой толщины. При этом подложку нагревают до температуры 50-70°С, в зону реакции подают пары прекурс...