Симоненко Дмитрий Владимирович (RU)

Изобретение относится к области электронной техники, в частности к производству печатных схем. Техническим результатом является расширение возможности существующих технологий за счет использования воздушного объема под фоторезистом вместо фотошаблона с регулируемой геометрией при экспонировании фоторезиста благодаря содержанию в воздухе кислорода, являющегося ингибитором фотополимеризации. Таким в...