Буржинский Андрей Владимирович (RU)

Изобретение относится к производству изделий из углеграфитовых материалов с защитным покрытием, применяемых в электронной и химической отраслях промышленности. Технический результат изобретения - сокращение временных и энергетических затрат и защита углеграфитовых изделий, работающих в атмосфере кремниевых или германиевых паров при производстве полупроводниковых материалов. Способ получения защитн...