КОБАЯСИ Даи (JP)

Изобретение относится к зонду для зондового микроскопа с использованием прозрачной подложки, в котором кантилевер может быть оптически возбужден и измерен, и к способу изготовления зонда, и к зондовому устройству микроскопа. Зондовый микроскоп имеет зонд, снабженный одним или несколькими кантилеверами (1202, 1204) на одной поверхности каждой из прозрачных подложек (1201, 1203), при этом прозрачные...

Изобретение относится к механическому осциллятору, который определяет начальную точку кантилевера на переднем крае основы и может определять длину кантилевера без зависимости от точности выравнивания и величины травления, и способу изготовления механического осциллятора. Механический осциллятор, полученный посредством обработки пластины, содержит основу, сформированную из подложки, поддерживающе...

Устройство АСМ с динамическим режимом содержит сканнер 3 для выполнения трехмерного относительного сканирования консоли 2 и образца 1; средство 8 для генерации сигнала переменного тока резонансной частоты в моде с колебаниями изгиба консоли 2; средство 9 для возбуждения колебаний изгиба консоли 2 с резонансной частотой; средство 10 для генерации сигнала переменного тока второй частоты, которая ни...