Тодуа Павел Андреевич (RU)
Изобретатель Тодуа Павел Андреевич (RU) является автором следующих патентов:

Способ калибровки преобразователей акустической эмиссии и устройство для его реализации
Использование: для калибровки преобразователей акустической эмиссии. Сущность: с помощью оптического интерференционного измерителя линейных перемещений выполняется калибровка системы, состоящей из источника акустического сигнала и монолитного передающего блока, после чего в акустический контакт с монолитным передающим блоком вводится стандартный преобразователь акустической эмиссии, обрабатывается...
2321849
Тестовый объект для калибровки растровых электронных и сканирующих зондовых микроскопов
Изобретение относится к области измерения малых длин отрезков, характеризующих геометрические параметры профиля элементов рельефа поверхности твердого тела, в нанометровом диапазоне (1-1000 нм), проводимого с помощью растровых электронных (РЭМ) и сканирующих зондовых (СЗМ) микроскопов. Техническим результатом является повышение точности, уменьшение времени измерений малых длин отрезков, характериз...
2325619
Тестовый объект для калибровки просвечивающих электронных микроскопов
Изобретение относится к области калибровки просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ) при измерениях в нано- и субнанометровом диапазонах. Тестовый объект выполнен в виде держателя образцов с несколькими местами крепления исследуемых объектов, в одном из которых расположена эталонная структура, выполненная в виде тонкого поперечного среза кремниевой структуры с периодической рельефной поверхно...
2503080
Тестовый объект для калибровки микроскопов в микрометровом и нанометровом диапазонах
Изобретение относится к области калибровки оптических цифровых и конфокальных микроскопов, растровых электронных микроскопов и сканирующих зондовых микроскопов при измерении микронных и нанометровых длин отрезков. Тестовый объект для калибровки микроскопов выполнен в виде канавочных структур, стенки которых имеют наклонный профиль, плоское основание и разную ширину на поверхности и на дне. Для в...
2519826
Способ количественной трехмерной реконструкции поверхности кремниевых микро- и наноструктур
Изобретение относится к области растровой электронной микроскопии. В изобретении используется принцип фотограмметрической обработки изображений, полученных в растровом электронном микроскопе при различных углах наклона исследуемого объекта. Сущность изобретения: исследуемая кремниевая структура предварительно подвергается плазменной обработке при помощи высокочастотного разряда пониженного давлени...
2622896
Способ количественной трехмерной реконструкции поверхности образца в растровом электронном микроскопе
Изобретение относится к области растровой электронной микроскопии. В изобретении используется принцип фотограмметрической обработки изображений, полученных в растровом электронном микроскопе при различных углах наклона исследуемого образца. На поверхности исследуемого образца предварительно формируются структурные элементы сферической формы, создающие контраст на изображении, результаты фотограмме...
2657000