Потловский Кирилл Геннадьевич (RU)

Изобретение относится к емкостным датчикам абсолютного давления газов и жидкостей, в частности микромеханическим, которые используются для контроля давления в устройствах промышленной автоматики, в гидросистемах и пр. Чувствительный элемент емкостного датчика давления жидких и газообразных сред представляет собой расположенные на подложке фиксированный электрод, слой диэлектрика и подвижный электр...