Донии Валерий Ильич (RU)

Изобретение относится к источникам ВУФ-фотонов и химически активных частиц, предназначенным для поверхностной обработки ВУФ-излучением, а также для плазмохимического травления и наращивания материалов на подложках с большой общей обрабатываемой площадью. Универсальный дуговой источник ВУФ содержит разрядную трубку из охлаждаемых металлических секций с защитным покрытием, холодный дуговой катод с у...