Черничко Дмитрий Иванович (RU)

Изобретение может быть использовано в нанотехнологии, в частности при изготовлении функциональных структур наноэлектроники. Технический результат изобретения - воспроизводимость получения организованных тонкопленочных наноструктур в виде квазипараллельных цепочечных ансамблей, которые характеризуются низкой степенью нарушений в локализации наночастиц в пленке покрытия. Сущность изобретения: в спос...