Шарамазанова Мария Мовлидгаджиевна (RU)

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, а также однослойных и многослойных печатных плат. Сущность изобретения: в способе фотолитографии вначале на поверхность единственного защитного слоя наносят первый слой фоторезиста, в котором формируют первый задубленный рельеф из фоторезиста таким образом, чт...