Гайнуллина Н.Р.

 Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к устройствам для фотолитографических процессов, и может быть использовано при изготовлении микросхем. Предложен фотошаблон для фотолитографии, состоящий из прозрачной пластины, на которую нанесены рисунки элементов микросхем, которые предварительно искажены по своим геометрическим размерам в соответствии с изменением толщины пленки фо...