Корляков Андрей Владимирович (RU)

Изобретение предназначено для использования в конструкции и технологии производства широкого класса микроэлектронных приборов. Чувствительный элемент (ЧЭ) содержит подложку из монокристаллического кремния, двухслойную мембрану, включающую слой Si3N4 и компенсирующий слой из AlN с преимущественной ориентацией оси текстуры <0001> по нормали к поверхности мембраны и расположенную над отверстием...

Изобретение относится к оптико-электронному приборостроению и микротехнологии и может быть использовано в конструкции микроминиатюрных приемников акустических сигналов специального назначения. Техническим результатом изобретения является повышение чувствительности, упрощение конструкции, расширение интервала рабочих температур и давлений по месту установки интерферометрического сенсора. Оптическ...