Малышев Владимир Михайлович (RU)

Заявляемое изобретение относится к способам очистки веществ и касается разработки способа глубокой очистки аммиака, используемого в технологии получения эпитаксиальных структур нитридов кремния, галлия, алюминия и других материалов, применяемых в опто- и микроэлектронике. Способ включает фильтрацию газообразного аммиака при температуре ниже 0°С, при давлении ниже 200 мм рт.ст. Поток аммиак...

Изобретение относится к микроэлектронике. Тепловой датчик включает матрицы однопиксельных микроболометров, инфракрасный поглощающий слой, по крайней мере, одно из опорных плеч для поддержания, не менее чем одного подвешенного диода, при этом, по крайней мере, одно из опорных плеч служит для передачи электрических сигналов. Датчик включает схему считывания с выходом по току, встраиваемую в каждую л...

Изобретение относится к области вычислительной техники и может быть использовано для создания датчиков скорости и координат перемещения манипулятора типа мышь, включающих основание корпуса, которое перемещается по поверхности стола, верхнюю часть корпуса, удобно удерживаемую человеческой рукой. В качестве датчиков определения скорости и координат перемещения использованы два дифференциальных термо...

Изобретение относится к области получения кремнийсодержащих материалов. Способ получения моносилана осуществляют диспропорционированием трихлорсилана. Способ включает контактирование трихлорсилана и смеси хлорсиланов с катализатором в ректификационной колонне. Производят отгонку из смеси тетрахлорида кремния и выделение полученных хлорсиланов с последующим возвратом смеси в ректификационную коло...