Тарабуров Павел Григорьевич (RU)

Заявляемое изобретение относится к способам очистки веществ и касается разработки способа глубокой очистки аммиака, используемого в технологии получения эпитаксиальных структур нитридов кремния, галлия, алюминия и других материалов, применяемых в опто- и микроэлектронике. Способ включает фильтрацию газообразного аммиака при температуре ниже 0°С, при давлении ниже 200 мм рт.ст. Поток аммиак...