Емельянов Александр Егорович (RU)

Изобретение относится к системам автоматического цифрового управления объектами и может быть использовано в микроэлектронной промышленности. Техническим результатом изобретения является повышение эффективности работы системы управления линией фотолитографии и повышение экономической эффективности за счет более рационального использования сети передачи данных. Сущность изобретения: в способе управл...