Ивлиев Максим Николаевич (RU)

Изобретение относится к системам автоматического цифрового управления объектами и может быть использовано в микроэлектронной промышленности. Техническим результатом изобретения является повышение эффективности работы системы управления линией фотолитографии и повышение экономической эффективности за счет более рационального использования сети передачи данных. Сущность изобретения: в способе управл...

Изобретение относится к области систем автоматического управления. Техническим результатом изобретения является автоматическое построение системы управления с автоматическим формированием контуров управления, с упрощением конфигурирования устройств, облегчением конфигурации системы, уменьшением количества рассылаемых широковещательных пакетов, облегчением замены неисправных устройств, упрощением...