PatentDB.ru — поиск по патентным документам

КИЛИАН Гернод (DE)

Изобретатель КИЛИАН Гернод (DE) является автором следующих патентов:

Обработка поверхности полупроводников и используемая при этом смесь

Обработка поверхности полупроводников и используемая при этом смесь

Настоящее изобретение касается композиции для обработки поверхности и способа обработки поверхности субстрата, используя эту композицию. Сущность изобретения: очищающий раствор содержит воду, перекись водорода, щелочное соединение и 2,2-бис-(гидроксиэтил)-(иминотрис)-(гидроксиметил)метан в качестве хелатирующей добавки. Предпочтительно щелочное соединение выбрано из группы, состоящей из органическ...

2329298