ТРЭН Нэм Ханг (US)

Изобретение относится к металлическим покрытиям, нанесенным путем химико-термического осаждения из паровой фазы, а также к продуктам и способам. Проводят транспортировку металлсодержащего предшественника в транспортной среде через камеру к основе при температуре в транспортном объеме меньшей температуры разложения металлсодержащего предшественника. Осаждение металлического слоя на основу проводят...

Изобретение относится к барботеру для обеспечения испаренного соединения в процесс химического осаждения из паровой фазы и может быть использовано при производстве полупроводников. Сборная конструкция камеры барботера содержит одну камеру или более камер, соединенных в ряды. Все камеры находятся по существу в вертикальной ориентации или под углом 45° от горизонтали. Твердый или жидкий источник со...