КОИЗУМИ Фумитаке (JP)

Изобретение относится к устройству и способу вакуумного осаждения для образования осажденных в вакууме пленок на несущей пленке и может найти использование в различных отраслях машиностроения. Устройство содержит подающий валик для подачи несущей пленки, подающий направляющий валик для направления несущей пленки в вакуум, покрывающий валик для прохождения вокруг него несущей пленки и осаждения на...