СУУ Коукоу (JP)

Использование: в области изготовления микроэлектромеханических систем и микроэлектронных устройств. Техническим результатом изобретения является достижение высокой селективности травления при использовании маски и получение анизотропного профиля и большой глубины травления. Сущность изобретения: установка травления содержит плазмогенерирующие средства для генерирования плазмы в вакуумной камере, и...