Белоус Анатолий Иванович (BY)

Изобретение относится к области электронной техники, в частности к микроэлектронике, и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов, жидкокристаллических индикаторов (ЖКИ), фотошаблонов и другой продукции. Способ контроля включает освещение контролируемого объекта излучением оптического диапазона от точечного источника и анализ отраженного на специальный экран светотеневого...

Изобретение относится к области электронной техники, в частности к микроэлектронике, и может быть использовано при изготовлении кремниевых полупроводниковых приборов. Изобретение позволяет повысить качество системы металлизации за счет снижения ее дефектности и улучшения ее электрических характеристик. Сущность изобретения: в способе изготовления системы металлизации кремниевых полупроводниковых п...

Изобретение относится к электронной технике, в частности к микроэлектронике, и может быть использовано при изготовлении кристаллов ИС и дискретных полупроводниковых приборов. Техническим результатом изобретения является расширение технических возможностей способа за счет обеспечения возможности контроля направления вектора механических напряжений. Сущность заявляемого способа контроля механических...