МАЙЛЗ Мервин Джон (GB)

Сканирующий зондовый микроскоп содержит средство привода, обеспечивающее детектируемое взаимодействие между зондом и образцом, средство придания колебаний либо зонду, либо образцу, механизм детектирования зонда и механизм обратной связи, обеспечивающий регулирование расстояния, отделяющего зонд и образец. Средство придания колебаний обеспечивает относительное колебательное движение зонда по занято...

Изобретение относится к области атомных силовых микроскопов и зондам, применяемым в указанных микроскопах. Зонд для использования в атомном силовом микроскопе или для нанолитографии содержит силоизмерительный элемент, соединенный с наконечником зонда с радиусом наконечника 100 нм или менее. Силоизмерительный элемент имеет низкий коэффициент добротности для, по меньшей мере, одной моды колебаний...