ДИЗЕНЬЯ Ирма (IT)

Изобретение относится к технологии трехмерных микромеханических систем. Сущность изобретения: на кристалл, который имеет на своей поверхности вытравленные углубления, сначала накладывают лист негативного фоторезиста, который с помощью экспонирования и последующего проявления остается только над вытравленными углублениями, затем на негативный фоторезист наносят позитивный фоторезист, который подвер...