Прусаков Евгений Викторович

 Изобретение относится к микроэлектронике и направлено на обеспечение минимальной неравномерности покрытия подложки тонкой пленкой распыляемого материала. Устройство содержит плоский испаритель и приемный свод с подложкодержателями и закрепленными на них подложками. При этом приемный свод выполнен по кривой в виде степенной косинусоидальной функции с показателем степени одна вторая. 1 ил....

 Изобретение относится к нанесению тонких пленок в вакууме и направлено на снижение неравномерности толщины пленки. Цель достигается тем, что подложкодержатель установлен на упругом элементе - сильфоне, жестко связанном с неподвижным основанием с возможностью вращения относительно горизонтальных осей координат, между подложкодержателем и неподвижным основанием шарнирно закреплены в вертика...