Степанчиков Сергей Валентинович

  Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме, о частности к термическим испарителям для вакуумных установок. Испаритель для вакуумных установок содержит полый, цилиндрической формы испаряемый стержень, установленный торцом на опорной площадке, имеющей коническую форму, нагревательный элемент, установленный под опорной площадкой , стержень, связанный с держателем с...

  Изобретение относится к исполнительным органам манипуляторов и схватам, работающим в экологически чистых средах и в вакууме. Цель изобретения - повышение величины перемещения свободного конца манометрической трубки при повышении виброустойчивости устройства. Манометрическая трубка 1 выполнена из металлической полосы 3 и полусильфона 4, герметично связанных между собой, при этом н...

  (19) RU (1 1) (51) 5 Н02 К 13 14 Комитет Российской Федерации по патентам и товарным знакам г- . 4 -с 1 . с, ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ь,,,„,","" К ПАТЕНТУ (21) 5009725/07 (22) 18.11.91 (46) 15.10.93 Бюл Йя 37-38 (76) Василенко Николай Васильевич; Ивашов Евгений Николаевич; Оринчев Сергей Михайлович; Степанчиков Сергей Валентинович (54) ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ МИКРОДВИГАТЕЛЬ ПОСТОЯННОГ...

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ: К ПАТЕНТУ Комитет Российской Федерации по патентам и товарным знакам (21) 5009531/07 (22) 18.11 91 (46) 15.1193 Бюл Na 41 — 42 (76) Антонова Галина Константиновна; Василенко Николай Васильевич; Ивашов Евгений Николаевич; Оринчев Сергей Михайлович; Степанчиков Сергей Валентинович (54) ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ МИКРОДВИГАТЕЛЬ ПОСТОЯННОГО ТОКА ДЛЯ РАБОТЫ В ЧИСТЫХ...

 Использование: изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано для нанесения магнитных и других пленок в вакууме. Испаритель установлен в вакуумной камере на заглушке, герметично связанной с сильфоном, который герметично соединен с вакуумной камерой, с заглушкой одним концом подвижно связан эксцентриковый вал посредством подшипника качения, а другой конец экс...

 Изобретение относится к области электронного машиностроения, а более конкретно - к конструкциям исполнительных органов манипуляторов, предназначенных для работы в экологически чистых средах и в вакууме. В основу изобретения положена задача упростить конструкцию исполнительного органа манипулятора, повысить виброустойчивость и снизить газовыделение с его поверхностей. Эта задача решается т...

 Изобретение относится к области электронного машиностроения, а более конкретно - к конструкциям устройств для перемещения и ориентации деталей в экологически чистом производстве изделий электронной техники. Приводная система выполнена из трех исполнительных устройств, связывающих подвижное и неподвижное основания. Каждое исполнительное устройство содержит по два сильфона, имеющих одинаков...

 Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано в робототехнике и гибких автоматизированных производствах. В пространственном механизме приводы расположены не в одной плоскости и связаны с основанием и выходным звеном посредством цилиндрических шарниров. Между неподвижным основанием и выходным звеном установлено подвижное основание, связанное с неподвижным основанием поср...

 Изобретение относится к медицине, а именно к сексопатологии. Сущность заключается в том, что элемент фиксации выполнен в виде упругого элемента, имеющего овальный профиль сечения проволоки и плоский торец. Проволока пружины вдета с натягом в эластичный полимерный кожух, а плоский торец пружины жестко связан с упором, выполненным в виде фигурного диска. Винтовая пружина может быть навита и...

 Сущность изобретения: наносят твердое смазочное покрытие в виде порошка с связующим на одну из поверхностей трения, сушат. В покрытие вводят дополнительную составляющую, представляющую собой газосорбционное вещество (цеолит). 1 ил., 1 табл. Изобретение относится к электронному машиностроению, а более конкретно к способам уменьшения трения в вакуумном или экологически чистом оборудовании....

 Использование: в электронном машиностроении, в частности в подшипниках качения, работающих в условиях сверхвысокого вакуума или чистых технологических сред. Сущность: между упорными элементами и наружными кольцами шарикоподшипников смонтированы втулки. Коэффициент линейного расширения материала втулок выбран большим и не менее чем в 2 раза коэффициентов линейного расширения материалов кор...

 Изобретение относится к электровакуумному машиностроению, а более конкретно к дозирующим питателям для сыпучих материалов экологически чистого технологического оборудования. В основу изобретения положена задача повышения эффективности использования питателя при дозировке материалов, обладающих малой взаимной подвижностью. Дозирующий питатель для сыпучих материалов снабжен установленным в...

  Использование: изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть применено для транспортировки подложки в вакуумной установке. Сущность изобретения: прижим-фиксатор выполнен в виде подвижной планки с пружиной сжатия, один торец которой связан с подвижной планкой, а другой - с направляющей планкой, в которой выполнено резьбовое отверстие и установлен винт, связанный с корп...

  Изобретение относится к машиностроению, а более конкретно к исполнительным устройствам манипуляторов, предназначенным для работы в экологически чистых средах. Цель изобретения - повышение кинематических возможностей при упрощении конструкции. Тяги выполнены жесткими, постоянной длины. Один конец тяги шарнирно связан с выходным звеном, другой - с подвижной опорой, выполненной из магнитомя...

 Изобретение относится к области нанесения покрытий в экологически чистых вакуумных технологических установках. Задачей изобретения является получение слоев покрытия по выбранному закону распределения толщин для подложек любой объемной формы при одновременном и независимом вращении подложки по трем координатным осям, а также улучшение состава остаточной газовой среды. Для этого механизм вр...

  Использование: изобретение относится к нанесению покрытий в экологически чистых вакуумных средах и может быть использовано в автоматизированных установках для производства интегральных микросхем. Сущность изобретения: с целью повышения частоты напыляемого слоя. При оперативном управлении дозой подаваемого материала, устройство снабжено корпусом с направляющими и дном, в котором выполнено...

 Изобретение относится к электронному машиностроению, а более конкретно к захватам манипуляторов, работающих в чистых помещениях, преимущественно в производстве изделий электронной техники. Захват манипулятора снабжен источником сжатого воздуха, а изогнутый упругий элемент выполнен в виде манометрической пружины плоскоовального сечения с герметизированными концами, расположенной выпуклой п...

 Использование: в области нанесения тонких пленок в вакууме путем пучково-плазменного распыления. Сущность изобретения: в результате предложенной реконструкции механизма размещения катода-мишени обеспечивается ее равномерное распыление по всей поверхности. Катод-мишень установлен в направляющих с возможностью линейного перемещения от привода, а вдоль направляющих установлены электретно-маг...

 Использование: радиоэлектроника. Сущность изобретения: устройство для охлаждения подложек в вакууме содержит охлаждаемый подложкодержатель 1, установленный на водяной рубашке 2, механические прижимы 3 для фиксации подложки 4 на установочной площадке подложкодержателя 1 и теплопроводный материал 5, размещенный на установочной площадке, при этом в подложкодержателе выполнено сквозное отверс...

 Использование: в машиностроении. Сущность изобретения: исполнительный орган выполнен в виде замкнутого упругого элемента в форме полумесяца с закругленными концами. Толщина вогнутой стенки выполнена меньше толщины выпуклой стенки. Вогнутая стенка выполнена биметаллической. Ширина органа не превышает половины его большой оси. 1 з.п. ф-лы. 2 ил. Изобретение относится к области машиностроени...

 Изобретение относится к нанесению тонких пленок путем ионного распыления материала в вакууме. В основу изобретения положена задача создать магнитную систему, у которой напряженность и индукция в межполюсной области изменяются во времени и пространстве. Эта задача решается тем, что магнитная система выполнена в виде основных электромагнитов с замкнутыми сердечниками в форме швеллера, устан...

 Изобретение относится к области разработки и эксплуатации чистых производственных помещений, а более конкретно к чистым комнатам. В основу изобретения положена задача обеспечить эффективность очистки воздуха в чистой комнате. Эта задача решается тем, что по периметру комнаты, вдоль трех стен, от фальшпола до фальшпотолка комнаты, расположен пленочный электретный материал, установленный на...

 Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме. В основу изобретения положена задача повышения надежности закрепления подложек при обеспечении возможности изменения их ориентации в пространстве. Сущность изобретения: каждые штыри выполнены в виде 3-х винтов, установленных в ре...

 Изобретение относится к микроэлектронике и направлено на обеспечение минимальной неравномерности покрытия подложки тонкой пленкой распыляемого материала. Устройство содержит плоский испаритель и приемный свод с подложкодержателями и закрепленными на них подложками. При этом приемный свод выполнен по кривой в виде степенной косинусоидальной функции с показателем степени одна вторая. 1 ил....

 Изобретение относится к нанесению тонких пленок в вакууме и направлено на снижение неравномерности толщины пленки. Цель достигается тем, что подложкодержатель установлен на упругом элементе - сильфоне, жестко связанном с неподвижным основанием с возможностью вращения относительно горизонтальных осей координат, между подложкодержателем и неподвижным основанием шарнирно закреплены в вертика...