Корольков Валерий Павлович (RU)

Изобретение относится к способам изготовления полупроводниковых приборов для обнаружения и регистрации электромагнитного излучения инфракрасного диапазона, в частности, приемников излучения с использованием фоточувствительных структур на основе твердого раствора CdHgTe. Способ изготовления меза-структуры CdHgTe включает формирование на подложке слоев фоточувствительной области, травление для образ...