Скворцов Игорь Николаевич (RU)

Изобретение относится к способам нанесения пленочных покрытий. Способ включает подачу рабочего газа в вакуумную камеру, импульсную генерацию потока плазмы и пучка высокоэнергетических ионов и поочередное их воздействие на подложку через временной промежуток. Импульсный поток плазмы создают путем зажигания сильноточного высоковольтного диффузионного разряда, который формируют путем пропускания чере...