Шарипов Эрнст Исагалиевич (RU)

Изобретение относится к способам нанесения пленочных покрытий. Способ включает подачу рабочего газа в вакуумную камеру, импульсную генерацию потока плазмы и пучка высокоэнергетических ионов и поочередное их воздействие на подложку через временной промежуток. Импульсный поток плазмы создают путем зажигания сильноточного высоковольтного диффузионного разряда, который формируют путем пропускания чере...

Изобретение относится к области электротехники, в частности к способам изготовления анодной фольги, которая может быть использована в твердых электролитических конденсаторах с электролитом из проводящего полимера. Способ включает нанесение в вакуумной камере на обе стороны алюминиевой фольги пористого слоя нитрида вентильного металла и последующее окисление полученного слоя в вакуумной камере при...