PatentDB.ru — поиск по патентным документам

ПАН Ксиаодзианг Дж. (US)

Изобретатель ПАН Ксиаодзианг Дж. (US) является автором следующих патентов:

Лазерный литографический источник света с доставкой пучка

Лазерный литографический источник света с доставкой пучка

Система очень узкополосного двухкамерного газоразрядного лазера с высокой частотой следования содержит две отдельные разрядные камеры, одна из которых является частью задающего генератора, формирующего очень узкополосный посылаемый пучок, который с помощью ретрансляционной оптики направляется через вторую разрядную камеру для получения усиленного выходного пучка, блок доставки пучка, содержащий ко...

2340057