Сафронова Ольга Вениаминовна (RU)

Изобретение касается области туннельной и атомно-силовой микроскопии и описывает способ изготовления композитных кантилеверов для СЗМ с консолью из нитрида кремния и с кремниевой иглой. Предлагаемый способ включает в себя формирование из массива кремния вокруг служебных углублений оснований игл, соединяющих кремниевые иглы и консоли из нитрида кремния, что позволяет упростить технологический контр...

Изобретение относится к способам формирования сверхтвердого легированного углеродного покрытия на кремнии в вакууме и может быть использовано в устройствах микромеханики и в качестве покрытий для деталей инфракрасной оптики. Способ включает ионизацию легирующего элемента, в качестве которого используют азот, и углерода, из которого изготовлен катод, при помощи вакуумно-дугового разряда в вакуумной...