Громов Геннадий Николаевич (RU)

Изобретение относится к химической промышленности и может применяться для очистки от полисиланхлоридов установок водородного восстановления поликристаллического кремния. После процесса водородного восстановления кремния стержни с осажденным на них поликристаллическим кремнием охлаждают до температуры 600÷230°С. В качестве растворителя подают тетрахлорид кремния в смеси с водородом...

Изобретение относится к химической промышленности и может применяться в производстве поликристаллического кремния на установках водородного восстановления. Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды, заключается в его переводе в газообразное состояние в реакторе с выращенными кремниевыми стержнями, нагретыми до температуры плюс 1100÷1150°С. Введение жидкой см...

Изобретение может быть использовано для водородного восстановления кремния. На разогретых кремниевых стержнях-основах 5 ведут процесс водородного восстановления трихлорсилана. Затем перекрывают подачу в реактор трихлорсилана и подают в патрубок ввода 3 в крышке реактора 1 отфильтрованную смесь тетрахлорсилана и полисиланхлоридов. Устанавливают заданный расход водорода. В реакторе происходит процес...

Изобретение может применяться в химии и электронике. Кремниевые стержни нагревают до температуры 1100÷1200°С, прокаливают в среде водорода и травят хлористым водородом, образовавшимся в результате реакции тетрахлорида кремния и водорода при мольном соотношении (2÷1):1. При приготовлении парогазовой смеси в испаритель вводят водород, тетрахлорид кремния и трихлорсилан с моль...

Изобретение может быть использовано в химической промышленности. Парогазовую смесь, отходящую от установок водородного восстановления кремния, конденсируют и разделяют на 2 потока. Поток, сконденсированный при температуре минус 95÷105°С, направляют на получение поликристаллического кремния. Поток, сконденсированный при температуре минус 10÷12°С, направляют в емкость...

Изобретение относится к химической промышленности и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния. Плазму атмосферного водорода получают в плазмотроне 1. В камере смешения 5 в плазму тангенциально, через 3-8 вводов трубопровода, имеющего форму тора, вводят смесь водорода и тетрахлорида кремния. Мольное соотношение транспортного водорода и водорода, находящегося в плазме, к те...

Изобретение может быть использовано в химической и электронной промышленности. Поликристаллический кремний получают водородным восстановлением трихлорсилана на кремниевых стержнях. Отходящую парогазовую смесь подвергают конденсации с рециркуляцией водорода после абсорбционной очистки. Конденсацию ведут с отбором фракции, содержащей трихлорсилан, которую направляют в голову процесса. Кубовый оста...

Изобретение относится к медицинской технике. Эндокардиальная электродная система для стимуляции левых отделов сердца состоит из электрода и упорно-осевого стилета. Тело электрода образовано внешней спиралью с париленовым покрытием, соединенной с анодом и оснащенной по всей длине изоляционной полимерной трубкой и внутренней спиралью с париленовым покрытием, соединенной с катодом, выполненным со ск...