Петрусевич Федр Викторович (RU)

Изобретение относится к химической промышленности и может применяться для очистки от полисиланхлоридов установок водородного восстановления поликристаллического кремния. После процесса водородного восстановления кремния стержни с осажденным на них поликристаллическим кремнием охлаждают до температуры 600÷230°С. В качестве растворителя подают тетрахлорид кремния в смеси с водородом...

Изобретение относится к химической промышленности и может применяться в производстве поликристаллического кремния на установках водородного восстановления. Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды, заключается в его переводе в газообразное состояние в реакторе с выращенными кремниевыми стержнями, нагретыми до температуры плюс 1100÷1150°С. Введение жидкой см...