Суджанская Ирина Васильевна (RU)

Изобретение относится к способам формирования сверхтвердого легированного углеродного покрытия на кремнии в вакууме и может быть использовано в устройствах микромеханики и в качестве покрытий для деталей инфракрасной оптики. Способ включает ионизацию легирующего элемента, в качестве которого используют азот, и углерода, из которого изготовлен катод, при помощи вакуумно-дугового разряда в вакуумной...