Петрусевич Федор Викторович (RU)

Изобретение может быть использовано в химической промышленности. Парогазовую смесь, отходящую от установок водородного восстановления кремния, конденсируют и разделяют на 2 потока. Поток, сконденсированный при температуре минус 95÷105°С, направляют на получение поликристаллического кремния. Поток, сконденсированный при температуре минус 10÷12°С, направляют в емкость...

Изобретение относится к химической промышленности и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния. Плазму атмосферного водорода получают в плазмотроне 1. В камере смешения 5 в плазму тангенциально, через 3-8 вводов трубопровода, имеющего форму тора, вводят смесь водорода и тетрахлорида кремния. Мольное соотношение транспортного водорода и водорода, находящегося в плазме, к те...