Воробьев Анатолий Яковлевич (CA)

Изобретение относится к области нанотехнологий, в частности к способам формирования упорядоченных наноструктур на поверхности и в объеме широкозонных диэлектриков и полупроводников в сильно диссипативных нелинейных динамических системах. Сущность изобретения: в способе получения наноструктур путем концентрации линейно поляризованного лазерного излучения ультракороткой длительности в зону обработки...