МАЙЛС Марк В. (US)

Изобретение относится к тонкопленочным структурам в устройствах микроэлектромеханических систем и к электромеханическому и оптическому откликам этих тонкопленочных структур. Устройство микроэлектромеханических систем (МЭМС) содержит: подложку, электростатически смещаемый слой, электрод, размещенный поверх подложки, между электродом и смещаемым слоем расположен воздушный зазор, слой улавливания эле...

Изобретение относится к модуляторам с разделяемыми свойствами. Данный модулятор имеет зеркало, свешенное с гибкого слоя над полостью. Этот гибкий слой также образует опоры и опорные столбики для зеркала. Альтернативная конструкция модулятора с разделяемыми свойствами имеет зеркало, подвешенное над полостью. Этот модулятор опирается на опоры и опорные столбики. Опорные столбики содержат гибкий сл...

Изобретение относится к микроэлектромеханическим системам (МЭМС) и монтажу таких систем в корпусе. Технический результат направлен на усовершенствование конструкции изделий. Дисплейное устройство содержит матрицу подвижных зеркал, выполненных с возможностью интерферометрически модулировать свет. Причем это дисплейное устройство содержит прозрачную подложку; интерферометрический модулятор, содерж...

Изобретение относится к устройствам на основе микроэлектромеханических систем (MEMS-устройств). В частности, оно относится к тонкопленочным структурам в устройствах на основе микроэлектромеханических систем и к электромеханическим и оптическим откликам таких тонкопленочных структур. В одном из вариантов настоящим изобретением предлагается способ изготовления устройства на основе микроэлектромеха...