БЕЙТИ Джон (US)
Изобретатель БЕЙТИ Джон (US) является автором следующих патентов:
Регулирование электромеханического поведения структур в устройстве микроэлектромеханических систем
Изобретение относится к тонкопленочным структурам в устройствах микроэлектромеханических систем и к электромеханическому и оптическому откликам этих тонкопленочных структур. Устройство микроэлектромеханических систем (МЭМС) содержит: подложку, электростатически смещаемый слой, электрод, размещенный поверх подложки, между электродом и смещаемым слоем расположен воздушный зазор, слой улавливания эле...
2348088Управление электромеханической реакцией структур в устройстве на основе микроэлектромеханических систем
Изобретение относится к устройствам на основе микроэлектромеханических систем (MEMS-устройств). В частности, оно относится к тонкопленочным структурам в устройствах на основе микроэлектромеханических систем и к электромеханическим и оптическим откликам таких тонкопленочных структур. В одном из вариантов настоящим изобретением предлагается способ изготовления устройства на основе микроэлектромеха...
2381532