КОТАРИ Маниш (US)

Изобретение относится к тонкопленочным структурам в устройствах микроэлектромеханических систем и к электромеханическому и оптическому откликам этих тонкопленочных структур. Устройство микроэлектромеханических систем (МЭМС) содержит: подложку, электростатически смещаемый слой, электрод, размещенный поверх подложки, между электродом и смещаемым слоем расположен воздушный зазор, слой улавливания эле...

Изобретение относится к устройствам на основе микроэлектромеханических систем (MEMS-устройств). В частности, оно относится к тонкопленочным структурам в устройствах на основе микроэлектромеханических систем и к электромеханическим и оптическим откликам таких тонкопленочных структур. В одном из вариантов настоящим изобретением предлагается способ изготовления устройства на основе микроэлектромеха...

Оптическое электромеханическое устройство содержит проводящий оптический поглотитель, сформированный над подложкой, по меньшей мере одну поддерживающую структуру, которая сформирована над подложкой, проводящий деформируемый слой, сформированный поверх указанной по меньшей мере одной поддерживающей структурой, расположенный на расстоянии от проводящего оптического поглотителя и выполненный с возмо...

Предложено фотогальваническое устройство, содержащее первый активный слой, выполненный с возможностью выработки электрического сигнала в результате поглощения света с первой длиной волны первым активным слоем, второй активный слой, выполненный с возможностью выработки электрического сигнала в результате поглощения света со второй длиной волны вторым активным слоем, первый оптический фильтр, расп...