Головкин Борис Георгиевич (RU)

Изобретение относится к области исследования и анализа материалов с помощью оптических средств и может быть использовано для определения фазового состава твердофазной смеси в случае необходимости выявления одного из соединений или определения состава смеси, а также для оценки наличия примесей в веществе. Способ включает помещение образца на подложку, расположенную на предметном столике эллипсометр...