ТОСИЕСИ Хироси (JP)

Изобретение относится к механическому осциллятору, который определяет начальную точку кантилевера на переднем крае основы и может определять длину кантилевера без зависимости от точности выравнивания и величины травления, и способу изготовления механического осциллятора. Механический осциллятор, полученный посредством обработки пластины, содержит основу, сформированную из подложки, поддерживающе...