РЭБИШ Матиас (DE)

Изобретение относится к способу вакуумного напыления на ленточные подложки барьерного покрытия из оксида алюминия. Осуществляют реакционное испарение алюминия и подают реакционный газ в установку для напыления покрытия на ленточную подложку с получением покрытия из оксида алюминия. Перед нанесением покрытия из оксида алюминия на подложку магнетронным распылением наносят не полностью сомкнутый сл...