ХУБЕР Карл (AT)

Изобретение относится к способу изготовления трубчатой мишени и может найти применение при изготовлении плоских экранов ЖК-дисплеев по тонкопленочной технологии. Трубчатая мишень состоит из трубки из молибдена или молибденового сплава с содержанием кислорода менее 50 мкг/г, плотностью более 99% от теоретической плотности и средним размером зерен поперек осевого направления менее 100 мкм и несуще...