Плотникова Инна Васильевна (RU)

Изобретение относится к области измерительной техники и интегральной электроники, а именно к интегральным измерительным элементам величины угловой скорости. Гироскоп содержит диэлектрическую подложку, на которой закреплено основание и неподвижные гребенчатые структуры в виде пластин электростатического вибропривода. В основании закреплена прямоугольная наружная рама посредством четырех упругих б...