PatentDB.ru — поиск по патентным документам

ХЭРЛЕ Эндрю Г. (US)

Изобретатель ХЭРЛЕ Эндрю Г. (US) является автором следующих патентов:

Полировальная суспензия и способ полирования керамической детали

Полировальная суспензия и способ полирования керамической детали

Группа изобретений относится к полировальным суспензиям и способам их применения. Полировальная суспензия содержит жидкую среду и абразив в виде частиц, включающих мягкие абразивные частицы, твердые абразивные частицы и коллоидные частицы двуокиси кремния, при этом мягкие абразивные частицы имеют твердость по Моосу не более 8, твердые абразивные частицы имеют твердость по Моосу не менее 8, мягки...

2354675

Абразивный порошковый материал и абразивная суспензия для избирательного полирования полупроводниковой подложки и способ полирования

Абразивный порошковый материал и абразивная суспензия для избирательного полирования полупроводниковой подложки и способ полирования

Изобретение относится к абразивному порошковому материалу, представляющему собой частицы оксида алюминия, содержащему переходный оксид алюминия и не менее 5.0 вес.%, но не более 40 вес.% аморфной фазы, причем частицы оксида алюминия имеют плотность менее 3,20 г/см3; к абразивной суспензии, содержащей воду в качестве растворителя и указанный абразивный порошковый материал в количестве от 3,0 вес.%...

2401856