ХЭРЛЕ Эндрю Г. (US)
Изобретатель ХЭРЛЕ Эндрю Г. (US) является автором следующих патентов:
Полировальная суспензия и способ полирования керамической детали
Группа изобретений относится к полировальным суспензиям и способам их применения. Полировальная суспензия содержит жидкую среду и абразив в виде частиц, включающих мягкие абразивные частицы, твердые абразивные частицы и коллоидные частицы двуокиси кремния, при этом мягкие абразивные частицы имеют твердость по Моосу не более 8, твердые абразивные частицы имеют твердость по Моосу не менее 8, мягки...
2354675Абразивный порошковый материал и абразивная суспензия для избирательного полирования полупроводниковой подложки и способ полирования
Изобретение относится к абразивному порошковому материалу, представляющему собой частицы оксида алюминия, содержащему переходный оксид алюминия и не менее 5.0 вес.%, но не более 40 вес.% аморфной фазы, причем частицы оксида алюминия имеют плотность менее 3,20 г/см3; к абразивной суспензии, содержащей воду в качестве растворителя и указанный абразивный порошковый материал в количестве от 3,0 вес.%...
2401856