ЧУ Цзя-Ни (US)

Группа изобретений относится к абразивным и/или химически активным частицам и их использованию при полировке и планаризации. Абразивная композиция для полировки подложек содержит множество абразивных частиц, содержащих распределение размеров полидисперсных частиц, при этом медианный размер частиц, по объему, составляет от примерно 20 нм до примерно 100 нм, значение разброса, по объему, является...