ПРАЙОР Джеймс Нил (US)

Группа изобретений относится к абразивным и/или химически активным частицам и их использованию при полировке и планаризации. Абразивная композиция для полировки подложек содержит множество абразивных частиц, содержащих распределение размеров полидисперсных частиц, при этом медианный размер частиц, по объему, составляет от примерно 20 нм до примерно 100 нм, значение разброса, по объему, является...

Настоящее изобретение относится к способам получения коллоидных частиц оксида металла (варианты), в частности диоксида кремния, а также к самим коллоидным частицам. Способ включает добавление химически активного оксида металла в реакционную емкость при оптимальной массовой скорости добавления оксида металла, которая основывается на математической модели, которая учитывает (i) скорость нуклеации...