Вельганенко Людмила Вячеславовна (RU)

Способ изготовления контактов фотопреобразователя заключается в том, что на полупроводниковую пластину напыляют слой тыльной контактной металлизации, наращивают тыльный контакт электрохимическим осаждением серебра, создают фоторезистивную маску с рисунком лицевых контактов фотопреобразователя, удаляют фоторезист, напыляют слои лицевой контактной металлизации, создают фоторезистивную маску с расш...