Русских Дмитрий Викторович (RU)

Способ улучшения параметров датчика газов заключается в последовательном формировании на диэлектрической подложке чувствительного слоя на основе диоксида олова, встречно-штыревых контактов к пленке, нагревателя, контактных площадок к чувствительному слою и нагревателю. После того как сформирован чувствительный элемент датчика, его поверхность облучают фиолетовым светодиодом с длиной волны около...