КОРМОН Филипп (FR)

Способ фотолитографии при помощи излучения в далекой ультрафиолетовой области спектра предназначен для нанесения рисунка на объект (OBJ) и содержит плоскую поверхность, расположенную перпендикулярно излучению и содержащую светочувствительную зону (PR). Объект может перемещаться поперечно относительно этого излучения. Излучение, предназначенное для фотолитографии, содержит, по меньшей мере, одну...